全氟醚的特性有哪些方面？

全氟醚橡胶（FFKM）是目前综合性能最优异的弹性体材料之一，在半导体、化工、航空航天等极端工况领域具有不可替代的地位。其特性可从以下几个方面概括：

1. 卓越的耐高温性能

全氟醚可在270℃的高温下长期稳定工作。耐热老化测试显示，在250℃下老化70小时后，硬度无变化，拉伸强度仅下降8%，断裂伸长率仅变化14%。在200℃下连续工作1000小时后，硬度依然无变化，拉伸强度下降仅2%。

2. 极佳的耐化学腐蚀性

全氟醚对氧气、氟气、等离子体等强腐蚀性介质具有优异的耐受性。等离子射频测试表明，在氧气氛围和四氟化碳/氧气混合气体氛围下，腐蚀率均≤3.8%。这使得全氟醚成为半导体刻蚀、灰化制程中密封件的首选材料。

3. 优异的压缩永久变形性能

在204℃高温下经70小时压缩变形测试，永久变形率为25.53%，表明其在高温高压工况下能保持良好的弹性恢复能力，确保长期密封效果。

4. 良好的物理机械性能

典型全氟醚材料硬度为71 Shore A，抗拉强度达13.2 MPa，断裂伸长率243%，比重2.11 g/cm³。这些指标保证了其在严苛工况下的结构完整性。

全氟醚主要应用于半导体设备密封、化工阀门密封、航空发动机等超高温、强腐蚀场景。